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電容式、單晶硅和擴(kuò)散硅壓力變送器的區(qū)別

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電容式、單晶硅和擴(kuò)散硅壓力變送器的區(qū)別
壓力變送器從傳感器種類來講一般分為三種： 電容式、單晶硅、擴(kuò)散硅。電容式可以做微壓，其他兩種只能做正常壓力。
他們的工作原理如下

1.電容式壓力變送器： 過程壓力通過兩側(cè)或一側(cè)隔離膜片，灌充液作用在δ元件(即敏感元件)內(nèi)張緊的測量膜片上,測量膜片與兩側(cè)絕緣體上的電容極板各組成一個電容器,在無壓力通入或兩側(cè)壓力均等時測量膜片處于中間位置,兩個電容器的電容量相等.當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時,致使測量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,這種位移轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙輼O板上形成的差動電容.由電子線路把差動電容轉(zhuǎn)換成4-20mADC的二線制電流信號,壓力變送器和絕對壓力變送器的工作原理和差壓變送器相同,所不同的是低壓室壓力是大氣壓或真空。

2.單晶硅壓力變送器采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。單晶硅壓力/差壓變送器(Monocrystalline Silicon Pressure Transmitter) 用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度、壓力，然后將其轉(zhuǎn)變成4-20mA HART電流信號輸出，也可與手操器相互通信，通過他們進(jìn)行參數(shù)設(shè)定、過程控制。

3.另一種擴(kuò)散硅壓力變送器是將測量膜片感受的力傳導(dǎo)到一個擴(kuò)散硅傳感器，通過擴(kuò)散硅傳感器的輸出來得出被測壓力。由于壓力不是作用在傳感器上而是加了一次傳遞，所以相對精度低一些，且擴(kuò)散硅元件品質(zhì)不一(多數(shù)變送器廠家不是自己生產(chǎn)擴(kuò)散硅元件)導(dǎo)致質(zhì)量差別很大。但是，但是價格可以很低。
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